メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長

Call No. (NDL): Y151-H13450129
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007698439

Material type: 図書

Author: 中島安理, 広島大学 [著]

Publisher: [中島安理]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長
Title Transcription: メタルゲートコウユウデンリツキンゾクサンカブツゲートゼツエンマクスタックコウゾウノシンクウイッカンゲンシソウセイチョウ
Author/Editor: 中島安理, 広島大学 [著]
Author Heading: 中島, 安理ナカジマ, アンリ
広島大学ヒロシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [中島安理]
Publication Date: 2001-2003
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: メタルゲート / 高誘電率金属酸化物 / ゲート絶縁膜 / スタック構造 / 原子層成長 / 真空一貫 / ジルコニア / ハフニアメタルゲート / コウユウデンリツキンゾクサンカブツ / ゲートゼツエンマク / スタックコウゾウ / ゲンシソウセイチョウ / シンクウイッカン / ジルコニア / ハフニア
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450129
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450129
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007698439
http://id.ndl.go.jp/bib/000007698439
Bibliographic Record Category (NDL): 214