微小パターン精密位置決め制御に関する研究

微小パターン精密位置決め制御に関する研究

Call No. (NDL): UT51-54-Y187
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007710610

Material type: 博士論文

Author: 毛利尚武 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東京大学,工学博士

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 微小パターン精密位置決め制御に関する研究
Title Transcription: ビショウパターンセイミツイチギメセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 毛利尚武 [著]
Author Heading: 毛利, 尚武モウリ, ナオタケ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 昭和54年3月29日
Date Granted (W3CDTF): 1979
Dissertation Number: 甲第4835号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-54-Y187
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007710610
http://id.ndl.go.jp/bib/000007710610
Bibliographic Record Category (NDL): 213