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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ジカ シート プラズマ ノ RF プラッキング ト カネツ ニ カンレンスル シース キョウシン
- Author/Editor
- 上原和也 [著]
- Author Heading
- 上原, 和也 ウエハラ, カズヤ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東京教育大学
- Date Granted
- 昭和52年3月9日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1977
- Dissertation Number
- 甲第354号