Study of Si[1-y]C[y] alloy semiconductor films grown by low-temperature chemical vapor deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Study of Si[1-y]C[y] alloy semiconductor films grown by low-temperature chemical vapor deposition
• Author/Editor: Shuhei Yagi [著]
• Author Heading: 八木, 修平 ヤギ, シュウヘイ
• Publication, Distribution, etc.: [Shuhei Yagi]
• Publication Date: [2004]
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 低温化学気相堆積法により成長したSi[1-y]C[y]混晶半導体膜に関する研究 テイオン カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨリ セイチョウシタ Si1-yCy コンショウ ハンドウタイマク ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成16年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第5728号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-U221
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007717057; http://id.ndl.go.jp/bib/000007717057
• Bibliographic Record Category (NDL): 213