Device design and process technologies toward sub-50-nm MOSFETs

• Material Type: 博士論文
• Title: Device design and process technologies toward sub-50-nm MOSFETs
• Author/Editor: Hitoshi Wakabayashi [著]
• Author Heading: 若林, 整 ワカバヤシ, ヒトシ
• Publication, Distribution, etc.: [Hitoshi Wakabayashi]
• Publication Date: [2003]
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: ゲート長50nm以下のMOSFETに向けたデバイス設計・プロセス技術 ゲートチョウ 50nm イカ ノ MOSFET ニ ムケタ デバイス セッケイ プロセス ギジュツ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成15年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 乙第3686号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-U369
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007717831; http://id.ndl.go.jp/bib/000007717831
• Bibliographic Record Category (NDL): 213