複数誘電体窓を有する表面波プラズマ装置における電子密度空間分布制御に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 複数誘電体窓を有する表面波プラズマ装置における電子密度空間分布制御に関する研究
Title Transcription: フクスウユウデンタイマドオユウスルヒョウメンハプラズマソウチニオケルデンシミツドクウカンブンプセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 鳥羽孝幸 [著]
Author Heading: 鳥羽, 孝幸トバ, タカユキ
Publication, Distribution, etc.: [鳥羽孝幸]
Publication Date: [2004]
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成16年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 甲第19009号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-A557
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007734654
http://id.ndl.go.jp/bib/000007734654
Bibliographic Record Category (NDL): 213