先端リソグラフィのパタン処理技術に関する研究

先端リソグラフィのパタン処理技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2005-B406
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007769445

Material type: 博士論文

Author: 小山清美 [著]

Publisher: [小山清美]

Publication date: [2004]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京大学,博士 (情報理工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 先端リソグラフィのパタン処理技術に関する研究
Title Transcription: センタンリソグラフィノパタンショリギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小山清美 [著]
Author Heading: 小山, 清美コヤマ, キヨミ
Publication, Distribution, etc.: [小山清美]
Publication Date: [2004]
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成16年3月12日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 乙第15947号
Degree Type: 博士 (情報理工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-B406
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007769445
http://id.ndl.go.jp/bib/000007769445
Bibliographic Record Category (NDL): 213