博士論文

Znoスパッタ膜の作成および半導体弾性表面波素子への応用に関する研究

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Znoスパッタ膜の作成および半導体弾性表面波素子への応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-52-O167
Bibliographic ID of National Diet Library
000007774701
Material type
博士論文
Author
久間和生 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
Znoスパッタ膜の作成および半導体弾性表面波素子への応用に関する研究
Title Transcription
Zno スパッタマク ノ サクセイ オヨビ ハンドウタイ ダンセイ ヒョウメンハ ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
久間和生 [著]
Author Heading
久間, 和生 キュウマ, カズオ
Extent
冊
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
昭和52年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1977
Dissertation Number
甲第912号