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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- Zno スパッタマク ノ サクセイ オヨビ ハンドウタイ ダンセイ ヒョウメンハ ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 久間和生 [著]
- Author Heading
- 久間, 和生 キュウマ, カズオ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 昭和52年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1977
- Dissertation Number
- 甲第912号