電子線リソグラフィの高精度化と等倍X線マスク製造への応用に関する研究

電子線リソグラフィの高精度化と等倍X線マスク製造への応用に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2005-C463
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007782987

Material type: 博士論文

Author: 内山真吾 [著]

Publisher: [内山真吾]

Publication date: 2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 電子線リソグラフィの高精度化と等倍X線マスク製造への応用に関する研究
Title Transcription: デンシセンリソグラフィノコウセイドカトトウバイ Xセンマスクセイゾウエノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 内山真吾 [著]
Author Heading: 内山, 真吾ウチヤマ, シンゴ
Publication, Distribution, etc.: [内山真吾]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成17年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第10572号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-C463
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007782987
http://id.ndl.go.jp/bib/000007782987
Bibliographic Record Category (NDL): 213