博士論文

Characterization of dielectric-silicon structure by photoreflectance spectroscopy

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Characterization of dielectric-silicon structure by photoreflectance spectroscopy

Call No. (NDL)
UT51-2005-C472
Bibliographic ID of National Diet Library
000007783174
Material type
博士論文
Author
Masayuki Sohgawa [著]
Publisher
[Masayuki Sohgawa]
Publication date
2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
Masayuki Sohgawa [著]
Author Heading
寒川, 雅之 ソウガワ, マサユキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
1冊
Alternative Title
フォトレフレクタンス分光法による誘電体-シリコン構造の評価に関する研究 フォトレフレクタンス ブンコウホウ ニ ヨル ユウデンタイ - シリコン コウゾウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
大阪大学