電子デバイス動作下における局所結晶歪みの高平行X線マイクロビームその場測定の研究

Call No. (NDL): Y151-H13555096
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007784378

Material type: 図書

Author: 松井純爾, 姫路工業大学 [著]

Publisher: [松井純爾]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 電子デバイス動作下における局所結晶歪みの高平行X線マイクロビームその場測定の研究
Title Transcription: デンシデバイスドウサカニオケルキョクショケッショウヒズミノコウヘイコウ Xセンマイクロビームソノバソクテイノケンキュウ
Author/Editor: 松井純爾, 姫路工業大学 [著]
Author Heading: 松井, 純爾マツイ, ジュンジ
姫路工業大学ヒメジコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [松井純爾]
Publication Date: 2001-2003
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: X線マイクロビーム / 放射光 / 非対称ブラッグ反射 / 円筒ミラー / ゾーンプレート / 格子歪み / SOI / 薄膜 Xセンマイクロビーム / ホウシャコウ / ヒタイショウブラッグハンシャ / エントウミラー / ゾーンプレート / コウシヒズミ / SOI / ハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555096
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555096
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007784378
http://id.ndl.go.jp/bib/000007784378
Bibliographic Record Category (NDL): 214