電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製

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Material Type: 図書
Title: 電子線一括露光による強誘電体ナノキャパシタの作製
Title Transcription: デンシセンイッカツロコウニヨルキョウユウデンタイナノキャパシタノサクセイ
Author/Editor: 岡村総一郎, 奈良先端科学技術大学院大学 [著]
Author Heading: 岡村, 総一郎オカムラ, ソウイチロウ
奈良先端科学技術大学院大学ナラセンタンカガクギジュツダイガクインダイガク
Publication, Distribution, etc.: [岡村総一郎]
Publication Date: 2003-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 強誘電体 / 微細加工 / 電子線 / 一括露光 / 微小キャパシタキョウユウデンタイ / ビサイカコウ / デンシセン / イッカツロコウ / ビショウキャパシタ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560277
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560277
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007858431
http://id.ndl.go.jp/bib/000007858431
Bibliographic Record Category (NDL): 214