光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング

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Material Type: 図書
Title: 光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング
Title Transcription: ヒカリユウキキャリアオモチイルシリコンジョウエノシッシキホウマスクレスキンゾクパターニング
Author/Editor: 尾形幸生, 京都大学 [著]
Author Heading: 尾形, 幸生オガタ, ユキオ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [尾形幸生]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 122p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 多孔質シリコン / 光励起 / レーザー / 電析 / 置換めっき / パターニングタコウシツシリコン / ヒカリレイキ / レーザー / デンセキ / チカンメッキ / パターニング
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350383
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350383
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007861229
http://id.ndl.go.jp/bib/000007861229
Bibliographic Record Category (NDL): 214