プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御

Call No. (NDL): Y151-H14380209
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007865551

Material type: 図書

Author: 斧高一, 京都大学 [著]

Publisher: [斧高一]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 95p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: プラズマプロセスにおける超微細構造内の粒子輸送と表面反応過程の解明と制御
Title Transcription: プラズマプロセスニオケルチョウビサイコウゾウナイノリュウシユソウトヒョウメンハンノウカテイノカイメイトセイギョ
Author/Editor: 斧高一, 京都大学 [著]
Author Heading: 斧, 高一オノ, コウイチ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [斧高一]
Publication Date: 2002-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 95p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマプロセス / 超微細構造 / 粒子輸送過程 / 表面反応過程 / 加工形状進展 / 高密度プラズマ / エッチング / 化学気相堆積プラズマプロセス / チョウビサイコウゾウ / リュウシユソウカテイ / ヒョウメンハンノウカテイ / カコウケイジョウシンテン / コウミツドプラズマ / エッチング / カガクキソウタイセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14380209
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14380209
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007865551
http://id.ndl.go.jp/bib/000007865551
Bibliographic Record Category (NDL): 214