プラズマプロセスにおける光照射損傷に関する研究

プラズマプロセスにおける光照射損傷に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2005-G23
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007883348

Material type: 博士論文

Author: 沖川満 [著]

Publisher: [沖川満]

Date granted: 平成16年9月8日

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Degree grantor and degree: 東北大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: プラズマプロセスにおける光照射損傷に関する研究
Title Transcription: プラズマプロセスニオケルヒカリショウシャソンショウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 沖川満 [著]
Author Heading: 沖川, 満オキガワ, ミツル
Publication, Distribution, etc.: [沖川満]
Publication Date: [2004]
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Degree Grantor: 東北大学
Date Granted: 平成16年9月8日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 甲第9869号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-G23
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007883348
http://id.ndl.go.jp/bib/000007883348
Bibliographic Record Category (NDL): 213