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ウェット・ドライプロセスによるLCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の(超)精密洗浄と洗浄度評価

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ウェット・ドライプロセスによるLCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の(超)精密洗浄と洗浄度評価

Call No. (NDL)
PA551-H28
Bibliographic ID of National Diet Library
000007900838
Material type
図書
Author
-
Publisher
技術情報協会
Publication date
2005.8
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
408p ; 27cm
NDC
576.5
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Notes on use

Note (General):

背のタイトル: LCD、PDP、有機EL、微細配線、光ディスク、光学素子・部品の (超) 精密洗浄と洗浄度評価

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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-86104-085-X
Title Transcription
ウェット ドライ プロセス ニ ヨル LCD PDP ユウキ EL ビサイ ハイセン ヒカリ ディスク コウガク ソシ ブヒン ノ チョウ セイミツ センジョウ ト センジョウド ヒョウカ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005.8
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
408p
Size
27cm
Place of Publication (Country Code)
JP