博士論文

プラズマCVD法による高純度銅薄膜の形成と堆積形状の制御

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プラズマCVD法による高純度銅薄膜の形成と堆積形状の制御

Call No. (NDL)
UT51-2005-H372
Bibliographic ID of National Diet Library
000007902760
Material type
博士論文
Author
竹中弘祐 [著]
Publisher
[竹中弘祐]
Publication date
2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
九州大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
プラズマ CVDホウ ニ ヨル コウジュンド ドウ ハクマク ノ ケイセイ ト タイセキ ケイジョウ ノ セイギョ
Author/Editor
竹中弘祐 [著]
Author Heading
竹中, 弘祐 タケナカ, コウスケ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
1冊
Degree grantor/type
九州大学