シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究

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Material Type: 図書
Title: シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究
Title Transcription: シリコンヒョウメンノウルトラクリーンセンジョウショウオンカテイニオケルハンノウキコウヒカリセイギョノケンキュウ
Author/Editor: 森田瑞穂, 大阪大学 [著]
Author Heading: 森田, 瑞穂モリタ, ミズホ
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [森田瑞穂]
Publication Date: 2001-2004
2005.4
Publication Date (W3CDTF): 2001
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: シリコン表面反応制御 / ウルトラクリーン洗浄 / 光照射効果シリコンヒョウメンハンノウセイギョ / ウルトラクリーンセンジョウ / ヒカリショウシャコウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007933128
http://id.ndl.go.jp/bib/000007933128
Bibliographic Record Category (NDL): 214