三次元ナノ構造体作製プロセスとその材料機能研究

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Material Type: 図書
Title: 三次元ナノ構造体作製プロセスとその材料機能研究
Title Transcription: サンジゲンナノコウゾウタイサクセイプロセストソノザイリョウキノウケンキュウ
Author/Editor: 松井真二, 兵庫県立大学, 姫路工業大学 [著]
Author Heading: 松井, 真二マツイ, シンジ
兵庫県立大学ヒョウゴケンリツダイガク
姫路工業大学ヒメジコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [松井真二]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: eng
Subject Heading: 集束イオンビーム / FIB / CVD / 立体ナノ構造 / 三次元構造 / アクチュエータシュウソクイオンビーム / FIB / CVD / リッタイナノコウゾウ / サンジゲンコウゾウ / アクチュエータ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350024
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350024
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007945981
http://id.ndl.go.jp/bib/000007945981
Bibliographic Record Category (NDL): 214