SEMなみの解像度を持つ広視野レーザスキャナーの基礎研究

Call No. (NDL): Y151-H14350079
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007946013

Material type: 図書

Author: 新田勇, 新潟大学 [著]

Publisher: [新田勇]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: SEMなみの解像度を持つ広視野レーザスキャナーの基礎研究
Title Transcription: SEMナミノカイゾウドオモツコウシヤレーザスキャナーノキソケンキュウ
Author/Editor: 新田勇, 新潟大学 [著]
Author Heading: 著者：新田, 勇ニッタ, イサミ ( 031352342 )Authorities
新潟大学ニイガタダイガク ( 00262895 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [新田勇]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 機械要素 / 締結要素 / シユリンクフィッタ / 光学レンズ / 超精密接合 / スポット径 / 形状誤差 / スキャナーキカイヨウソ / テイケツヨウソ / シユリンクフィッタ / コウガクレンズ / チョウセイミツセツゴウ / スポットケイ / ケイジョウゴサ / スキャナー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350079
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350079
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007946013
http://id.ndl.go.jp/bib/000007946013
Bibliographic Record Category (NDL): 214