電子ビーム励起プラズマによる超硬質薄膜創製法の開発

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Material Type: 図書
Title: 電子ビーム励起プラズマによる超硬質薄膜創製法の開発
Title Transcription: デンシビームレイキプラズマニヨルチョウコウシツハクマクソウセイホウノカイハツ
Author/Editor: Petros Abraha, 名城大学 [著]
Author Heading: Abraha, Petros アブラハ, ペトロス
名城大学メイジョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [Petros Abraha]
Publication Date: 2003-2004
2005.6
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 電子ビーム / プラズマ / 超硬質薄膜 / c-BN膜 / 基盤バイアス / ほう素ターゲットデンシビーム / プラズマ / チョウコウシツハクマク / c-BN マク / キバンバイアス / ホウソターゲット
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560106
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560106
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007946224
http://id.ndl.go.jp/bib/000007946224
Bibliographic Record Category (NDL): 214