ナノメータLSI用極薄SOI基板の結晶評価と不純物拡散モデリングの研究

Call No. (NDL): Y151-H14550323
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007955445

Material type: 図書

Author: 荒井英輔, 名古屋工業大学 [著]

Publisher: [荒井英輔]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 56枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: ナノメータLSI用極薄SOI基板の結晶評価と不純物拡散モデリングの研究
Title Transcription: ナノメータ LSIヨウゴクウス SOI キバンノケッショウヒョウカトフジュンブツカクサンモデリングノケンキュウ
Author/Editor: 荒井英輔, 名古屋工業大学 [著]
Author Heading: 著者：荒井, 英輔, 1942- アライ, エイスケ, 1942- ( 00693719 )Authorities
名古屋工業大学ナゴヤコウギョウダイガク ( 00301619 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [荒井英輔]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 56枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: シリコンLSI / 極薄SOI / 埋込酸化膜 / 不純物拡散 / キャリア分布 / new donor / 界面電荷密度 / 耐圧シリコン LSI / ゴクウス SOI / ウメコミサンカマク / フジュンブツカクサン / キャリアブンプ / new donor / カイメンデンカミツド / タイアツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550323
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550323
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007955445
http://id.ndl.go.jp/bib/000007955445
Bibliographic Record Category (NDL): 214