次世代半導体製造プロセスで必須の高真空対応形スーパークリーンロボットの試作研究

Call No. (NDL): Y151-H14550218
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007955911

Material type: 図書

Author: 金光陽一, 九州大学 [著]

Publisher: [金光陽一]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 図書
Title: 次世代半導体製造プロセスで必須の高真空対応形スーパークリーンロボットの試作研究
Title Transcription: ジセダイハンドウタイセイゾウプロセスデヒッスノコウシンクウタイオウガタスーパークリーンロボットノシサクケンキュウ
Author/Editor: 金光陽一, 九州大学 [著]
Author Heading: 金光, 陽一カネミツ, ヨウイチ
九州大学キュウシュウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [金光陽一]
Publication Date: 2002-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: クリーンロボット / 磁気軸受 / 磁気浮上 / 非接触浮上 / 非接触移動 / バイアス可変制御 / Hinfinity 制御 / 無発塵クリーンロボット / ジキジクウケ / ジキフジョウ / ヒセッショクフジョウ / ヒセッショクイドウ / バイアスカヘンセイギョ / Hinfinity セイギョ / ムハツジン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550218
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550218
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007955911
http://id.ndl.go.jp/bib/000007955911
Bibliographic Record Category (NDL): 214