積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H15560164
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007956894

Material type: 図書

Author: 菊田和重, 北海道大学 [著]

Publisher: [菊田和重]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 積層大口径ウエハ均一薄膜形成のための放射熱物性計測とガス流動解析に関する研究
Title Transcription: セキソウダイコウケイウエハキンイツハクマクケイセイノタメノホウシャネツブッセイケイソクトガスリュウドウカイセキニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 菊田和重, 北海道大学 [著]
Author Heading: 菊田, 和重キクタ, カズシゲ
北海道大学ホッカイドウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [菊田和重]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: CVD / シリコンウエハ / ガス流動 / 可視化 / 放射熱物性 / 薄膜 / LPCVD / 希薄ガス CVD / シリコンウエハ / ガスリュウドウ / カシカ / ホウシャネツブッセイ / ハクマク / LPCVD / キハクガス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560164
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560164
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007956894
http://id.ndl.go.jp/bib/000007956894
Bibliographic Record Category (NDL): 214