リサイクルによる半導体級シリコンの製造

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Material Type: 図書
Title: リサイクルによる半導体級シリコンの製造
Title Transcription: リサイクルニヨルハンドウタイキュウシリコンノセイゾウ
Author/Editor: 前田正史, 東京大学 [著]
Author Heading: 著者：前田, 正史, 1952- マエダ, マサフミ, 1952- ( 00832368 )Authorities
東京大学トウキョウダイガク ( 00305733 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [前田正史]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 115枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: シリコン / 半導体 / 精製 / 電子ビーム溶解 / クヌーセンセル質量分析法 / リサイクルシリコン / ハンドウタイ / セイセイ / デンシビームヨウカイ / クヌーセンセルシツリョウブンセキホウ / リサイクル
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15206101
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15206101
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007974177
http://id.ndl.go.jp/bib/000007974177
Bibliographic Record Category (NDL): 214