微細な針・球・溝を用いた積層形マイクロ診断チップの設計指針の確立

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Material Type: 図書
Title: 微細な針・球・溝を用いた積層形マイクロ診断チップの設計指針の確立
Title Transcription: ビサイナハリタマミゾオモチイタセキソウケイマイクロシンダンチップノセッケイシシンノカクリツ
Author/Editor: 中尾政之, 東京大学 [著]
Author Heading: 中尾, 政之, 1958- ナカオ, マサユキ, 1958- ( 00330489 )Authorities
東京大学トウキョウダイガク ( 00305733 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [中尾政之]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 77枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 微細加工 / 診断チップ / 電子線堆積法 / ゲルビーズビサイカコウ / シンダンチップ / デンシセンタイセキホウ / ゲルビーズ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360079
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360079
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007975023
http://id.ndl.go.jp/bib/000007975023
Bibliographic Record Category (NDL): 214