博士論文

Diamond-like carbon films deposition on inner wall surface of microextrusion dies by pulse plasma CVD

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Diamond-like carbon films deposition on inner wall surface of microextrusion dies by pulse plasma CVD

Call No. (NDL)
UT51-2005-M675
Bibliographic ID of National Diet Library
000008037367
Material type
博士論文
Author
Xudong Yang [著]
Publisher
[Xudong Yang]
Publication date
[2005]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
Xudong Yang [著]
Author Heading
楊, 旭東 ヤン, シイウドン
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2005]
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
1冊
Alternative Title
マイクロ押出し金型内面へのパルスプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成 マイクロ オシダシ カナガタ ナイメン エノ パルス プラズマ CVD ニ ヨル ダイヤモンドジョウ タンソマク ノ ゴウセイ
Degree grantor/type
東京工業大学