酸化膜プラズマエッチングにおけるチャージング機構の解明とチャージングフリープラズマの実現

酸化膜プラズマエッチングにおけるチャージング機構の解明とチャージングフリープラズマの実現

Call No. (NDL): UT51-2005-N791
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008059202

Material type: 博士論文

Author: 大森健史 [著]

Publisher: [大森健史]

Publication date: [2005]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 慶應義塾大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 酸化膜プラズマエッチングにおけるチャージング機構の解明とチャージングフリープラズマの実現
Title Transcription: サンカマクプラズマエッチングニオケルチャージングキコウノカイメイトチャージングフリープラズマノジツゲン
Author/Editor: 大森健史 [著]
Author Heading: 大森, 健史オオモリ, タケシ
Publication, Distribution, etc.: [大森健史]
Publication Date: [2005]
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 慶應義塾大学
Date Granted: 平成17年9月21日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第2480号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-N791
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008059202
http://id.ndl.go.jp/bib/000008059202
Bibliographic Record Category (NDL): 213