低LERモールドを用いた光ナノインプリントによる超高精度パターン形成に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 低LERモールドを用いた光ナノインプリントによる超高精度パターン形成に関する研究
Title Transcription: テイ LER モールドオモチイタヒカリナノインプリントニヨルチョウコウセイドパターンケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 倉島優一 [著]
Author Heading: 倉島, 優一クラシマ, ユウイチ
Publication, Distribution, etc.: [倉島優一]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京理科大学
Date Granted: 平成17年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第648号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-N877
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008059342
http://id.ndl.go.jp/bib/000008059342
Bibliographic Record Category (NDL): 213