博士論文

低LERモールドを用いた光ナノインプリントによる超高精度パターン形成に関する研究

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低LERモールドを用いた光ナノインプリントによる超高精度パターン形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2005-N877
Bibliographic ID of National Diet Library
000008059342
Material type
博士論文
Author
倉島優一 [著]
Publisher
[倉島優一]
Publication date
2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京理科大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
テイ LER モールド オ モチイタ ヒカリ ナノインプリント ニ ヨル チョウ コウセイド パターン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
倉島優一 [著]
Author Heading
倉島, 優一 クラシマ, ユウイチ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京理科大学