A study on key elementary reactions in silicon chemical vapor deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: A study on key elementary reactions in silicon chemical vapor deposition
• Author/Editor: Keiji Matsumoto [著]
• Author Heading: 松本, 圭司 マツモト, ケイジ
• Publication, Distribution, etc.: [Keiji Matsumoto]
• Publication Date: [2005]
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコンCVDプロセスの化学反応素過程に関する研究 シリコン CVD プロセス ノ カガク ハンノウ ソカテイ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成17年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2005
• Dissertation Number: 甲第20116号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2006-D351
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008170701; http://id.ndl.go.jp/bib/000008170701
• Bibliographic Record Category (NDL): 213