超LSI製造におけるドライエッチング技術に関する研究

超LSI製造におけるドライエッチング技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2006-F678
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008223044

Material type: 博士論文

Author: 関根誠 [著]

Publisher: [関根誠]

Publication date: [2006]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 慶應義塾大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 超LSI製造におけるドライエッチング技術に関する研究
Title Transcription: チョウLSI セイゾウニオケルドライエッチングギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 関根誠 [著]
Author Heading: 関根, 誠セキネ, マコト
Publication, Distribution, etc.: [関根誠]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 慶應義塾大学
Date Granted: 平成18年1月11日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 乙第3995号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-F678
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008223044
http://id.ndl.go.jp/bib/000008223044
Bibliographic Record Category (NDL): 213