CO2レーザー生成プラズマによる光リソグラフィー用真空紫外および極端紫外光源の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: CO2レーザー生成プラズマによる光リソグラフィー用真空紫外および極端紫外光源の開発
Title Transcription: CO2 レーザーセイセイプラズマニヨルヒカリリソグラフィーヨウシンクウシガイオヨビキョクタンシガイコウゲンノカイハツ
Author/Editor: 田中博樹 [著]
Author Heading: 田中, 博樹タナカ, ヒロキ
Publication, Distribution, etc.: [田中博樹]
Publication Date: 2006
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成18年3月27日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 甲第7926号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-H314
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008269926
http://id.ndl.go.jp/bib/000008269926
Bibliographic Record Category (NDL): 213