高濃度イオン注入炭化シリコン非晶質層の再結晶化と不純物効果の解明

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 高濃度イオン注入炭化シリコン非晶質層の再結晶化と不純物効果の解明
Title Transcription: コウノウドイオンチュウニュウタンカシリコンヒショウシツソウノサイケッショウカトフジュンブツコウカノカイメイ
Author/Editor: 佐藤政孝, 法政大学 [著]
Author Heading: 佐藤, 政孝サトウ, マサタカ
法政大学ホウセイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [佐藤政孝]
Publication Date: 2003-2004
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 53枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 炭化シリコン / イオン注入 / 非晶質層 / 電気的活性化 / 再結晶化過程タンカシリコン / イオンチュウニュウ / ヒショウシツソウ / デンキテキカッセイカ / サイケッショウカカテイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560012
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560012
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008316371
http://id.ndl.go.jp/bib/000008316371
Bibliographic Record Category (NDL): 214