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高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用

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高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用

Call No. (NDL)
Y151-H15206006
Bibliographic ID of National Diet Library
000008323831
Material type
図書
Author
服部健雄, 武蔵工業大学 [著]
Publisher
[服部健雄]
Publication date
2003-2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
63p
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用
Title Transcription
コウエネルギー コウデンシ ブンコウホウ カイハツ ト コウユウデンリツマク シリコン カイメン ノ カガク ケツゴウ ジョウタイ ブンセキ エ ノ オウヨウ
Author/Editor
服部健雄, 武蔵工業大学 [著]
Author Heading
服部, 健雄 ハットリ, タケオ
武蔵工業大学 ムサシ コウギョウ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[服部健雄]
Publication Date
2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF)
2003
2005
Extent
63p
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)