プラスチックフィルム基板上への低抵抗・高密着性透明導電膜の高速成膜技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H16560281
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008333513

Material type: 図書

Author: 星陽一, 東京工芸大学 [著]

Publisher: [星陽一]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: プラスチックフィルム基板上への低抵抗・高密着性透明導電膜の高速成膜技術の開発
Title Transcription: プラスチックフィルムキバンジョウエノテイテイコウコウミッチャクセイトウメイドウデンマクノコウソクセイマクギジュツノカイハツ
Author/Editor: 星陽一, 東京工芸大学 [著]
Author Heading: 星, 陽一ホシ, ヨウイチ
東京工芸大学トウキョウコウゲイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [星陽一]
Publication Date: 2004-2005
2006.6
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 透明導電膜 / スパッタ法 / プラスチック基板 / 低温成膜 / 応力フリー / 低ダメージ / 高速成膜 / ITO トウメイドウデンマク / スパッタホウ / プラスチックキバン / テイオンセイマク / オウリョクフリー / テイダメージ / コウソクセイマク / ITO
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560281
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560281
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008333513
http://id.ndl.go.jp/bib/000008333513
Bibliographic Record Category (NDL): 214