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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ イオンカ プロセス ニ ヨル コウタイキュウセイ DLC ハクマク ノ サクセイ ト イリョウ ブンヤ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 真野毅 [著]
- Author Heading
- 真野, 毅 マノ, ツヨシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2006
- Publication Date (W3CDTF)
- 2006
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 名古屋大学