超高感度・分解能水素検出法の開発と半導体中不純物への応用

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Material Type: 図書
Title: 超高感度・分解能水素検出法の開発と半導体中不純物への応用
Title Transcription: チョウコウカンドブンカイノウスイソケンシュツホウノカイハツトハンドウタイチュウフジュンブツエノオウヨウ
Author/Editor: Wilde Markus, 東京大学 [著]
Author Heading: Wilde, Markus ビルデ, マーカス
東京大学トウキョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [Wilde Markus]
Publication Date: 2003-2005
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 水素 / 共鳴核反応 / 深さ分解測定 / 半導体 / 酸化物 / 界面スイソ / キョウメイカクハンノウ / フカサブンカイソクテイ / ハンドウタイ / サンカブツ / カイメン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15310083
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15310083
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008337254
http://id.ndl.go.jp/bib/000008337254
Bibliographic Record Category (NDL): 214