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分子気体効果を利用した新型真空ポンプの開発

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分子気体効果を利用した新型真空ポンプの開発

Call No. (NDL)
Y151-H15560139
Bibliographic ID of National Diet Library
000008338033
Material type
図書
Author
杉元宏, 京都大学 [著]
Publisher
[杉元宏]
Publication date
2003-2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
108p
NDC
-
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Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ブンシ キタイ コウカ オ リヨウシタ シンガタ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
Author/Editor
杉元宏, 京都大学 [著]
Author Heading
杉元, 宏 スギモト, ヒロシ
京都大学 キョウト ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF)
2003
2005
Extent
108p
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)