高エネルギー密度パルスイオンビームによる半導体へのイオン注入技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H16540447
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008339810

Material type: 図書

Author: 升方勝己, 富山大学 [著]

Publisher: [升方勝己]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 高エネルギー密度パルスイオンビームによる半導体へのイオン注入技術の開発
Title Transcription: コウエネルギーミツドパルスイオンビームニヨルハンドウタイエノイオンチュウニュウギジュツノカイハツ
Author/Editor: 升方勝己, 富山大学 [著]
Author Heading: 升方, 勝己マスガタ, カツミ
富山大学トヤマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [升方勝己]
Publication Date: 2004-2005
2006.4
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: パルスイオン注入 / パルスイオンビーム / 両極性パルス加速器 / パルス窒素イオンビーム / パルスアルミイオンビーム / SiC パルスイオンチュウニュウ / パルスイオンビーム / リョウキョクセイパルスカソクキ / パルスチッソイオンビーム / パルスアルミイオンビーム / SiC
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16540447
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16540447
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008339810
http://id.ndl.go.jp/bib/000008339810
Bibliographic Record Category (NDL): 214