不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成

Call No. (NDL): Y151-H13555194
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008342637

Material type: 図書

Author: 光田好孝, 東京大学 [著]

Publisher: [光田好孝]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 22枚

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 不揮発性メモリの実現に向けた高誘電率キャパシタ材料の低温形成
Title Transcription: フキハツセイメモリノジツゲンニムケタコウユウデンリツキャパシタザイリョウノテイオンケイセイ
Author/Editor: 光田好孝, 東京大学 [著]
Author Heading: 光田, 好孝ミツダ, ヨシタカ
東京大学トウキョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [光田好孝]
Publication Date: 2001-2003
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 22枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 強誘電体薄膜 / チタン酸バリウム / スパッタリング / 高周波バイアス / イオン衝撃 / 低温結晶化 / 誘電特性 / ヒステリシスキョウユウデンタイハクマク / チタンサンバリウム / スパッタリング / コウシュウハバイアス / イオンショウゲキ / テイオンケッショウカ / ユウデントクセイ / ヒステリシス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555194
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research (error code): 13455194
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555194
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008342637
http://id.ndl.go.jp/bib/000008342637
Bibliographic Record Category (NDL): 214