MOCVD原料分子の気相中での化学相互作用と強誘電体薄膜の自己組織化

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Material Type: 図書
Title: MOCVD原料分子の気相中での化学相互作用と強誘電体薄膜の自己組織化
Title Transcription: MOCVD ゲンリョウブンシノキソウチュウデノカガクソウゴサヨウトキョウユウデンタイハクマクノジコソシキカ
Author/Editor: 篠崎和夫, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 篠崎, 和夫シノザキ, カズオ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [篠崎和夫]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 36枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: MOCVD / 気相分解 / 気相反応 / FTIR / 有機金属原料 / 微構造 / 残留炭素 / トラップ MOCVD / キソウブンカイ / キソウハンノウ / FTIR / ユウキキンゾクゲンリョウ / ビコウゾウ / ザンリュウタンソ / トラップ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360339
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360339
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008343876
http://id.ndl.go.jp/bib/000008343876
Bibliographic Record Category (NDL): 214