プラズマ吸収プローブを用いた電子密度・電子温度の同時計測と堆積性プラズマへの応用

Call No. (NDL): Y151-H15340200
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008349687

Material type: 図書

Author: 中村圭二, 中部大学 [著]

Publisher: [中村圭二]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 79p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: プラズマ吸収プローブを用いた電子密度・電子温度の同時計測と堆積性プラズマへの応用
Title Transcription: プラズマキュウシュウプローブオモチイタデンシミツドデンシオンドノドウジケイソクトタイセキセイプラズマエノオウヨウ
Author/Editor: 中村圭二, 中部大学 [著]
Author Heading: 中村, 圭二ナカムラ, ケイジ
中部大学チュウブダイガク
Publication, Distribution, etc.: [中村圭二]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 79p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマプロセス / 電子密度 / 堆積膜 / プラズマ吸収プローブ / 分散関係 / 表面波 / シースプラズマプロセス / デンシミツド / タイセキマク / プラズマキュウシュウプローブ / ブンサンカンケイ / ヒョウメンハ / シース
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15340200
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15340200
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008349687
http://id.ndl.go.jp/bib/000008349687
Bibliographic Record Category (NDL): 214