磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用

Call No. (NDL): Y151-H16560248
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008351280

Material type: 図書

Author: 大坪昌久, 宮崎大学 [著]

Publisher: [大坪昌久]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成技術を用いたナノテクプロセスへの応用
Title Transcription: ジキチュウセイセンホウデン NLD プラズマセイセイギジュツオモチイタナノテクプロセスエノオウヨウ
Author/Editor: 大坪昌久, 宮崎大学 [著]
Author Heading: 大坪, 昌久オオツボ, マサヒサ
宮崎大学ミヤザキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [大坪昌久]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 磁気中性線放電プラズマ / カーボンナノチューブ (CNTs) / プラズマ化学気相成長法 / ヌル磁場 / プラズマ動的制御 / ナノテクノロジー / プラズマプロセス / NLD ジキチュウセイセンホウデンプラズマ / カーボンナノチューブ (CNTs) / プラズマカガクキソウセイチョウホウ / ヌルジバ / プラズマドウテキセイギョ / ナノテクノロジー / プラズマプロセス / NLD
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560248
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560248
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008351280
http://id.ndl.go.jp/bib/000008351280
Bibliographic Record Category (NDL): 214