超臨界流体を利用した超高速・低環境負荷型新規薄膜形成技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 超臨界流体を利用した超高速・低環境負荷型新規薄膜形成技術の開発
Title Transcription: チョウリンカイリュウタイオリヨウシタチョウコウソクテイカンキョウフカガタシンキハクマクケイセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 近藤英一, 山梨大学 [著]
Author Heading: 近藤, 英一コンドウ, エイイチ ( 01016950 )Authorities
山梨大学ヤマナシダイガク ( 00376549 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [近藤英一]
Publication Date: 2003-2005
2006.6
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 68枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 超臨界流体 / 二酸化炭素 / Cu / Pt / Ru / ナノマシン / ナノピラー / NEMS チョウリンカイリュウタイ / ニサンカタンソ / Cu / Pt / Ru / ナノマシン / ナノピラー / NEMS
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360162
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360162
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008357971
http://id.ndl.go.jp/bib/000008357971
Bibliographic Record Category (NDL): 214