酸素負イオンの挙動に着目したスパッタ酸化膜のエピタキシャル成長に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H16540454
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008366900

Material type: 図書

Author: 沖村邦雄, 東海大学 [著]

Publisher: [沖村邦雄]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 65p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 酸素負イオンの挙動に着目したスパッタ酸化膜のエピタキシャル成長に関する研究
Title Transcription: サンソフイオンノキョドウニチャクモクシタスパッタサンカマクノエピタキシャルセイチョウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 沖村邦雄, 東海大学 [著]
Author Heading: 沖村, 邦雄オキムラ, クニオ
東海大学トウカイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [沖村邦雄]
Publication Date: 2004-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 65p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: ICP支援スパッタ装置 / ルチル型Ti酸化膜 / アナターゼ型Ti酸化膜 / エピタキシャル成長 / 高密度プラズマ生成 / アニール挙動 / 酸素負イオン生成 / 酸素ラジカル生成 ICP シエンスパッタソウチ / ルチルガタ Ti サンカマク / アナターゼガタ Ti サンカマク / エピタキシャルセイチョウ / コウミツドプラズマセイセイ / アニールキョドウ / サンソフイオンセイセイ / サンソラジカルセイセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16540454
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16540454
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008366900
http://id.ndl.go.jp/bib/000008366900
Bibliographic Record Category (NDL): 214