非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析

Call No. (NDL): Y151-H15360413
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008373474

Material type: 図書

Author: 島田学, 広島大学 [著]

Publisher: [島田学]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 163p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析
Title Transcription: ヒヘイコウ RF プラズマクウカンチュウニフユウスルビリュウシノドウリキガクテキキョドウノカイセキ
Author/Editor: 島田学, 広島大学 [著]
Author Heading: 島田, 学シマダ, マナブ
広島大学ヒロシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [島田学]
Publication Date: 2003-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 163p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマダスト / プロセスプラズマ / 低温プラズマCVD / エアロゾル / 凝集成長 / 荷電 / レーザ光散乱計測プラズマダスト / プロセスプラズマ / テイオンプラズマ CVD / エアロゾル / ギョウシュウセイチョウ / カデン / レーザコウサンランケイソク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360413
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360413
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008373474
http://id.ndl.go.jp/bib/000008373474
Bibliographic Record Category (NDL): 214