極微細MOSFETのゲートスタックにおける化学構造分析及び電気的特性評価

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Material Type: 博士論文
Title: 極微細MOSFETのゲートスタックにおける化学構造分析及び電気的特性評価
Title Transcription: ゴクビサイ MOSFET ノゲートスタックニオケルカガクコウゾウブンセキオヨビデンキテキトクセイヒョウカ
Author/Editor: 村上秀樹 [著]
Author Heading: 村上, 秀樹ムラカミ, ヒデキ
Publication, Distribution, etc.: [村上秀樹]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Alternative Title: Characterization of electrical properties and chemical structures of advanced gate stacks for ultra-small scaled MOSFETs
Degree grantor/type: 広島大学
Date Granted: 平成17年4月15日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 乙第3860号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-N296
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008377363
http://id.ndl.go.jp/bib/000008377363
Bibliographic Record Category (NDL): 213