酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

Call No. (NDL): Y151-H16360016
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008380955

Material type: 図書

Author: 山部紀久夫, 筑波大学 [著]

Publisher: [山部紀久夫]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善
Title Transcription: サンカブツハクマクニオケルサンソケッソントデンキテキトクセイノカンレンセイヒョウカトマクシツカイゼン
Author/Editor: 山部紀久夫, 筑波大学 [著]
Author Heading: 山部, 紀久夫ヤマベ, キクオ
筑波大学ツクバダイガク
Publication, Distribution, etc.: [山部紀久夫]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲 / 信頼性 / シリコン酸化膜 / 酸素欠損コウユウデンリツゼツエンマク / シュウセキカイロ / ゲートゼツエンマク / デンドウキコウ / デンカホカク / シンライセイ / シリコンサンカマク / サンソケッソン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008380955
http://id.ndl.go.jp/bib/000008380955
Bibliographic Record Category (NDL): 214