格子歪み制御されたSi表面での熱酸化反応ダイナミクスの研究

Call No. (NDL): Y151-H16360015
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008385230

Material type: 図書

Author: 高桑雄二, 東北大学 [著]

Publisher: [高桑雄二]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 149p

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 図書
Title: 格子歪み制御されたSi表面での熱酸化反応ダイナミクスの研究
Title Transcription: コウシヒズミセイギョサレタ Si ヒョウメンデノネツサンカハンノウダイナミクスノケンキュウ
Author/Editor: 高桑雄二, 東北大学 [著]
Author Heading: 高桑, 雄二タカクワ, ユウジ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [高桑雄二]
Publication Date: 2004-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 149p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 格子歪み / Si熱酸化 / 反応ダイナミクス / RHEED-AES / リアルタイムモニタリング / Si原子放出 / 律速反応 / ゲート酸化膜コウシヒズミ / Si ネツサンカ / ハンノウダイナミクス / RHEED-AES / リアルタイムモニタリング / Si ゲンシホウシュツ / リッソクハンノウ / ゲートサンカマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360015
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360015
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008385230
http://id.ndl.go.jp/bib/000008385230
Bibliographic Record Category (NDL): 214