低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製

Call No. (NDL): Y151-H15360016
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008392516

Material type: 図書

Author: 寒川誠二, 東北大学 [著]

Publisher: [寒川誠二]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 91p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製
Title Transcription: テイエネルギーコウミツドチュウセイリュウシビームニヨルナノカコウトシンキノウブッシツソウセイ
Author/Editor: 寒川誠二, 東北大学 [著]
Author Heading: 著者：寒川, 誠二サムカワ, セイジ ( 001164613 )Authorities
東北大学トウホクダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [寒川誠二]
Publication Date: 2003-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 91p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 中性粒子ビーム / エッチング / 表面改質 / エッチングダメージ / ナノカラム / 負イオン / 有機分子デバイス / 半導体デバイスチュウセイリュウシビーム / エッチング / ヒョウメンカイシツ / エッチングダメージ / ナノカラム / フイオン / ユウキブンシデバイス / ハンドウタイデバイス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008392516
http://id.ndl.go.jp/bib/000008392516
Bibliographic Record Category (NDL): 214